9月18日,由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会(以下简称“国促会标委会”)联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《光学薄膜损伤阈值测试系统技术要求》《光学薄膜表面缺陷检测技术要求》两项团体标准启动会顺利召开。会议由国促会标委会标准部王志豪主持,相关参编单位代表、行业专家参会,标准起草组副组长、标准部副主任吴斌及标准部李昕悦、陈致杭出席会议,南京茂莱光学科技股份有限公司等十余家企业、高校共同参与标准讨论。

会上,李昕悦就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍;陈致杭与王志豪分别对《光学薄膜损伤阈值测试系统技术要求》《光学薄膜表面缺陷检测技术要求》两项团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报说明。行业专家和参编单位代表围绕两项团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求、设备要求等内容进行积极研讨,明确测试系统技术参数和缺陷检测精度要求,为上下游企业提供统一的技术语言,助力企业优化镀膜工艺,减少薄膜吸收损耗,满足EUV光刻机、激光武器等高端产品制造需求,加速新技术从实验室到产业化应用的转化及高端产品国产化替代。会议内容得到参会代表一致通过。

会议最后,吴斌副主任对本次会议进行总结发言。他表示,随着EUV光刻机、激光核聚变装置等“大国重器”对光学薄膜抗激光损伤性能要求的指数级提升,传统测试方法因精度不足、标准缺失导致国产薄膜良率仍存在较大进步空间。制定《光学薄膜损伤阈值测试系统技术要求》《光学薄膜表面缺陷检测技术要求》两项团体标准旨在规范光学薄膜关键性能的测试方法、设备要求及评价标准,为相关测试系统的研发、生产与应用提供技术依据,推动行业测试技术的标准化和科学化发展。其发布实施将为行业上下游企业提供技术指导,促进产学研协同创新,增强我国在光学薄膜领域的国际话语权,提升产品和技术的国际竞争力,推动光学薄膜产业向更高水平迈进。