在半导体制造过程中，温度控制是确保生产质量和效率的关键因素之一。随着半导体技术的不断进步，对温控冷却材料的需求也在不断增加，氟化液因其出色的热传导性能和化学稳定性，成为半导体制程中不可或缺的温控冷却材料。
近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《半导体制程控温冷却用氟化液》团体标准研讨会成功召开。
会议由国促会标委会标准部孙晓楠主持，标准起草组副组长、标准部副主任迪丽娜尔·艾尔肯，标准部倪艺瑾出席会议。深圳新宙邦科技股份有限公司、北京京仪自动化装备技术股份有限公司、成都晨光博达新材料股份有限公司、浙江永和制冷股份有限公司、浙江师范大学、浙江中欣氟材股份有限公司、浙江永太科技股份有限公司、浙江诺亚氟化工有限公司、天津市长芦化工新材料有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次研讨会。
会上，倪艺瑾就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍，孙晓楠对《半导体制程控温冷却用氟化液》标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报说明，重点对氟化液的性能指标、测试方法、使用条件等展开深入探讨，旨在确保氟化液的热传导性、化学稳定性、电绝缘性等具有一致的性能指标，更好地保障半导体生产质量和效率。
在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《半导体制程控温冷却用氟化液》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、缩略语、选型要求、温度适用范围等内容进行积极研讨，明确氟化液的性能指标和使用条件等，为氟化液的使用提供明确指导和规范，促使其在半导体制造过程中各个环节的顺畅衔接和高效协同，从而提升整个产业链的效率和竞争力。
会议最后，迪丽娜尔·艾尔肯副主任对本次会议进行总结发言。她表示，在半导体制造过程中，温度控制是至关重要的环节。由于半导体材料的性能对温度极为敏感，任何微小的温度波动都可能对产品质量产生严重影响。对此，拥有卓越冷却性能、化学稳定性和电气绝缘性的氟化液脱颖而出，成为半导体制造中不可或缺的控温冷却材料。本次研讨的《半导体制程控温冷却用氟化液》团体标准，对于规范市场秩序、提升产品质量、推动行业技术进步具有重要意义，其发布及实施将引领半导体制造行业发展，推动行业向更加高效、环保、可持续的方向稳步前行。
氟化液作为半导体制造过程中重要的温控冷却介质，其质量和性能直接关系到半导体产品的质量和生产效率。《半导体制程控温冷却用氟化液》团体标准，结合了行业内专家学者、企业代表的最新技术和经验，能够引导氟化液生产企业不断进行技术创新，提升产品性能。相信在不久的将来，随着更多优秀氟化液产品的涌现和半导体制造技术的革新，我国半导体行业将迎来更加美好的未来。